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平面度仪器检测

平面度仪器检测是具有独立计量校准值传递系统的重要参数,
 
平面度检测仪器是国家计量校准准用于复现平面度量值和通过各种等级的计量标准器具直到工作计量器具的量值传递,
 
是用以保证我国平面度量值的统一和测量的准确。
 
高准确度的平面度标准室利用干涉原理和方法来实现。
 
目前,组成我国平面度计量校准的计量器具是平面等倾干涉仪。
 
平面度误差的评定方法有:最小包容区域法、最小二乘法、对角线平面法和三远点平面法。
 

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